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安徽省MEMS工程技术研究中心
  点击数: 1879 发布时间: 2016-12-11 15:35:53

  • 批建时间:2008年8月25日(安徽省科技厅) 

  • 建设形式:依托合肥工业大学电子科学与应用物理学院建设 

  • 联系人:许高斌 

  • 联系电话:0551-2901467-8201 

  • 电子邮箱:gbxu@hfut.edu.cn

  • 主要研究方向和领域: 

    微传感器与微执行器研究

        对微传感器和微执行器所涉及的基础理论、微尺度效应、集成设计方法以及传感执行阵列等进行研究,主要开展MEMS惯性与导航器件研究、SOI高温压力/应变传感器、温度传感器以及系统集成芯片、柔性传感器、微/纳结构设计与在线测试分析等研究。实现微器件与系统的应用和产业化。

    微全分析生物传感芯片系统研究

        以应用于环境、水体和食品安全污染分析为主的微流控传感分析系统芯片以及环境痕量气体污染检测微传感器为研究对象。建立系统设计与加工理论,解决关键工艺技术,开发新工艺、新设备和微系统测试技术。

    纳电子学研究:NEMS器件与传感器集成研究

        主要研究内容包括硅基/柔性衬底的单碳纳米管(CNT)平行阵列、随机网络NEMS器件如场效应晶体管、存储器;硅基碳纳米管的压力、应力/应变传感器,碳纳米管生物传感器研究。以ZnO、ZnS、CdSe纳米线、带等II-VI族准一维半导体为主要研究对象,制备基于准一维半导体的场效应器件,对准一维半导体的电输运特性、器件化应用进行研究。结合 “Top-down”方法和“Bottom-up”方法,将现有纳米技术的研究成果和实际工程技术有效结合起来,形成面向产业化的纳米技术的研究方向。

    微纳加工工艺与仿真研究

        主要开展的微纳加工制备工艺研究有干法刻蚀、聚合物键合、纳米压印、薄膜技术、光刻技术研究等。开展MEMS器件的计算机辅助设计方法和仿真研究,主要有MEMS器件关键/特殊加工工艺与仿真系统研究,包括SU-8厚胶刻蚀、深反应离子刻蚀、表面牺牲层腐蚀等工艺与仿真,并实现典型微结构的实际应用验证。 主要科研成果: 工程技术研究中心目前承担有国家863计划项目、国家自然科学基金、安徽省自然科学基金、合肥市科技计划、企业委托研发等各类项目十余项,“新型微纳器件”研究是合肥工业大学2009年度立项重点支持的五个创新群体之一。1人入选教育部2008年“新世纪优秀人才支持计划”。获教育部高等学校科学技术奖:自然科学奖一等奖1项。已在IEEE Sensors Journal,Sensors and Actuators A,Journal of Micromechanics and Microengineering,Nano Letters,Appl. Phys. Lett.,Nanotechnology,半导体学报,仪器仪表学报,微波学报,真空科学与技术学报等国际、国内核心期刊上发表学术论文70余篇。多次在国际国内重要学术会议如Proceedings of IEEE Sensors、International MEMS Conference、Conference of the China Society of Micro-Nano Technology等学术会议上发表并宣讲论文,所发表的会议论文同时被Ei收录。获授权发明专利1项,授权实用新型专利1项,已申请发明专利5项.

     


 
 
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